Überbegriff für Analysen, die Material mit Hilfe chemischer, spektroskopischer, mechanischer oder matallographischer Verfahren genau charakterisieren.

Zuordnung von Elementzusammensetzung zu einer Materialklasse, basierend auf den prozentualen Anteilen der detektierten Einzelelemente.

Gerät mit dem kleine Objekte vergrößert betrachtet werden können und das häufig über ein Kamerasystem mit Bildauswertung verfügt, wobei in Material- Stereo- oder Zoom-Mikroskop unterschieden wird.

Regelmäßige Sauberkeitsprüfung zur Überwachung von sauberkeitsrelevanten Prozessen.