Die Vorgehensweise ist prinzipiell ähnlich der Analyse mit Flüssigkeit
Die Partikel (Restschmutz) werden auf einem Analysefilter gesammelt und - je nach Erfordernis - mittels Gravimetrie, Mikroskopie oder Elementanalyse charakterisiert.
Das Messergebnis ist in hohem Maße von der Ausführung der Extraktionsprozedur unabhängig.
Kalibrierung und Fähigkeiten der eingesetzten Messmittel bestimmen in hohem Maße das Ergebnis der zu ermittelnden Sauberkeitswerte.