Häufig ist eine chemische Kontamination oder ein Rückstand nicht sichtbar und nur die Folgen aus dessen Vorhandensein sind erkennbar. Hierbei können Beschichtungsfehler, Verklebungen oder andere Prozessfehler auftreten.

Um geeignete Abstellmaßnahmen für solche Fehler einleiten zu können ist eine genaue Kenntnis der verursachenden Kontamination unerlässlich.

Die Analyse solcher Rückstände beginnt aber schon weit vor der eigentlichen Messung. In Abstimmung mit den entsprechenden Qualitäts- sowie Prozessverantwortlichen sollte bereits im Vorfeld die Art des Fehlers genau definiert und mögliche Ursachen wie eingesetzte Prozesshilfsstoffe oder störende Additive identifiziert werden. Durch die Wahl geeigneter, gegebenenfalls auch mehrere unterschiedliche Extraktionsverfahren wird die störende Verunreinigung isoliert. Anschließend werden diese Extrakte mit unterschiedlichen Screening-Methoden untersucht. Hierbei können unterschiedliche chromatographische und spektroskopische Verfahren zum Einsatz kommen. Die gefundenen Substanzen können dann teils auf Grundlage von Erfahrungswerten oder durch Abgleich mit Referenzproben der eingesetzten Hilfsstoffe einem Schadensmechanismus zugeordnet werden.