ICPMS (Inductively Coupled Plasma - Mass Spectrometry, auf Deutsch Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma) ist eine robuste, sehr empfindliche Analysenmethode in der anorganischen Elementanalytik. Sie wird u.a. zur Spurenanalyse von Schwermetallen, wie Quecksilber, Blei oder Cadmium benutzt. Bei der ICPMS wird zunächst durch einen hochfrequenten Strom ionisiertes Argon induziert und die Probe auf 5000-10000°C erhitzt. Dabei werden die Atome ionisiert und ein Plasma entsteht. Anschließend werden die im Plasma generierten Ionen in Richtung des Analysators des Massenspektrometers beschleunigt. Dort werden die einzelnen Elemente und deren Isotope messtechnisch erfasst. Mit der ICPMS werden für die meisten Elemente des Periodensystems Nachweisgrenzen im Bereich von ng/l bzw. sub ng/l erreicht. Weiterhin zeichnet sich die Methode bei der quantitativen Bestimmung durch einen extrem hohen linearen Bereich über bis zu neun Größenordnungen (g/l - pg/l) aus.
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